系統(tǒng)功能:
1)實(shí)時(shí)測量離子束電流;
2)計(jì)算被注入器件離子束累加劑量,控制離子注入完成時(shí)間;
3)精確控制工藝腔內(nèi)掃描盤轉(zhuǎn)動(dòng)完成離子注入工藝;
4)精確控制離子束注入角度,保證離子束注入質(zhì)量;
技術(shù)特點(diǎn):
1)芯片制造中核心關(guān)鍵設(shè)備子系統(tǒng)國產(chǎn)化平替;
2)搭載實(shí)時(shí)操作系統(tǒng),保證離子注入工藝穩(wěn)定可靠;
3)高精度劑量測量與實(shí)時(shí)計(jì)算累計(jì)劑量;
4)系統(tǒng)靈活度高,劑量控制系統(tǒng)完美適配高能離子注入機(jī)、中束流離子注入機(jī)、大束流離子注入機(jī);