系統功能：
1）實時測量離子束電流；
2）計算被注入器件離子束累加劑量，控制離子注入完成時間；
3）精確控制工藝腔內掃描盤轉動完成離子注入工藝；
4）精確控制離子束注入角度，保證離子束注入質量；
技術特點：
1）芯片制造中核心關鍵設備子系統國產化平替；
2）搭載實時操作系統，保證離子注入工藝穩定可靠；
3）高精度劑量測量與實時計算累計劑量；
4）系統靈活度高，劑量控制系統完美適配高能離子注入機、中束流離子注入機、大束流離子注入機；
